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11月5日，合肥市包河区政务中心举办了半导体关键零部件研发生产基地暨泛半导体工业设备研发总部签约仪式。包河区与高芯众科半导体有限公司、安徽金亿科智能设备有限公司达成了合作协议。高芯众科是一家专注于真空腔体核心零部件制造、特殊精密涂层技术、涂层核心材料研发及生产的企业。该公司计划在包河经开区投资建设国内首屈一指的半导体关键零部件国产化研发生产基地。这一项目将主要从事半导体高纯度陶瓷零部件、半导体精密加工硅零部件、液晶面板设备关键零部件、等离子特殊涂层、真空机器人及阀门等半导体核心零部件及原材料的生产研发。金亿科是一家主要从事半导体行业真空设备、新能源行业专用设备的生产及制造的企业。该公...