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10月21日，上海市临港新片区举行了盛美半导体设备研发与制造中心落成暨投产典礼。这个项目共有5个单体，包括2座研发楼、2座厂房和1座辅助厂房，总建筑面积达到13.8万平方米。其中，厂房面积为4万平方米，分为A和B两座厂房。厂房A已经投产，并且布局了智能物流仓储系统，实质上是一座智能工厂。它全面提升了盛美生产制造能级和效率，使厂房A的产能达到现有川沙工厂的水平，年产量可达300—400台，年产值超过50亿元，并且仍有提升潜力。预计明年厂房B投入使用后，将实现两座厂房百亿产能。